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中国科学技术大学国家同步辐射实验室导师介绍: 刘颖院校首页


  姓名: 刘颖
  性别:女
  出生年月:1972年9月
  职称:副研究员
  学院:国家同步辐射实验室
  研究方向: 软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术 
  
  个人详细信息

  1.个人学习、工作及研究经历1990-1994 长春光学精密机械学院 理学学士1994-1996 中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室1996-2001 中科院长春光学精密机械研究所 理学博士毕业2001-至今 中国科学技术大学国家同步辐射实验室2009-2010 德国弗雷德里希•席勒 耶拿大学(Friedrich Schiller University Jena.应用物理研究所 中科院公派访问学者

  2.主要研究方向 软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术

  3.代表性科研成果期刊文章
  1. Shengnan He, Ying Liu*, Jingtao Zhu, Haochuan Li, Qiushi Huang, Hongjun Zhou, Tonglin Huo, Zhanshan Wang, and Shaojun Fu, "SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount," Opt. Lett. 36(2., 163-165 (2011..

  2. Shengnan He, Ying Liu*, Keqiang Qiu, Hongjun Zhou, Tonglin Huo, and Shaojun Fu, “Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27, HLS,” Chin. Opt. Lett. 8(12., 1131-1134 (2010..

  3. Ying Liu*, Hans-Jörg Fuchs, Zhengkun Liu, Huoyao Chen, Shengnan He, Shaojun Fu, Ernst-Bernhard Kley, and Andreas Tünnermann, “Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter,” Appl. Opt. 49(23., 4450-4459 (2010..

  4. Ying Liu*, Xin Tan, Zhengkun Liu, Xiangdong Xu, Yilin Hong, and Shaojun Fu*, “Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment,” Opt. Express 16(19., 14761-14770 (2008..

  5. Xudi Wang*, Ying Liu, Xiangdong Xu, Shaojun Fu*, and Zheng Cui, “Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition,” J. Vac. Sci. Technol. A 24(4., 1067-1072 (2006

 

  授权发明专利:

 

  1. X射线全息衍射光栅分束器, 授权号 ZL 200810024295.0.

  2. 光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法,授权号 ZL 200710020220.0.

  3. 位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法,发明专利,授权号 ZL 200810021578.x.

  4. 具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置, 授权号 ZL 200810025255.8.

 

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